Piv nrog rau lwm hom kev ntsuas siab, lub siab realonant siab sensor muaj cov txiaj ntsig hauv qab no:
Siab Precision:Nws ntsuas siab raws li qhov kev co ntawm tus resonator. Qhov ntau ntawm cov kev ntsuas ntsuas ntsuas yog xam los ntawm kev ntsuas qhov hloov pauv ntawm cov kev co ntawm tus resonator. Qhov ntsuas ntsuas no muaj qhov kev daws teeb meem siab heev thiab tuaj yeem ua tau ntau qhov siab siab {2} pre} precision ntsuas yuav tsum tau ua. Piv txwv li, nyob rau hauv Aerospace teb, rau cov cua siab ntsuas ntawm cov dav hlau, cov ntxeem tau ntxeem tau los muab cov ntaub ntawv muaj ntau dua los xyuas kom muaj kev nyab xeeb kom muaj kev nyab xeeb.
Siab ruaj khov:Silicon cov khoom nws tus kheej muaj peev xwm elasticity thiab siab ruaj khov. Ntxiv mus, lub diaphragm thiab resonator ntawm lub sensor yog muab khi rau tib qho kev nyab xeeb, yog li yuav tsis muaj teeb meem xws li hysstal, creep, thiab drift ntawm cov ntsiab lus sib txuas. Thiaj li, kev ntsuas cov txiaj ntsig nrog kev ruaj khov zoo thiab rov ua tau zoo tshaj plaws. Piv txwv li, hauv kev siv cov khoom siv tshuab hluav taws xob, ntawm cov kab ntau lawm uas ua rau muaj kev sib txuas lus zoo, ua kom muaj kev sib txuas lus raug thiab cov txheej txheem ruaj khov ntawm cov khoom lag luam zoo.
Muaj zog anti - sib cuam tshuam muaj kev cuam tshuam:Cov zis ntawm cov Silicon Resononant Siab Sensor yog zaus ntsuas. Piv nrog cov cim ntsuas hluav taws xob tawm los ntawm lwm cov ntsiab lus, cov ntsiab lus zaus muaj kev cuam tshuam yooj yim xws li hluav taws xob daws teeb meem, hloov pauv thiab av noo. Nws tseem tuaj yeem ntsuas qhov raug mob siab rau hauv cov txheej txheem hluav taws xob ib puag ncig lossis ib puag ncig tej chaw muaj txuj ci.
Tsawg Tsawg Tus Cuam Tshuam:Silicon, zoo li quartz siv lead ua, muaj elasticity zoo thiab kwv yees tib yam kub coefficient yam ntxwv. Nws qhov kub ruaj khov yog qhov zoo dua 10⁻⁶ / degree, thiab nws lub sijhawm ruaj khov yog siab tshaj 10⁻⁶ / xyoo. Tsis pub dhau ntawm qhov ntsuas kub ntau, kev ua tiav hloov ntawm lub sensor yog qhov tsawg heev thiab yuav luag negligible. Yog li ntawd, nws tuaj yeem tswj siab - precision ntsuas hauv ob qho chaw siab thiab ib puag ncig kub.
Tsawg zog noj:Cov qauv sab hauv yog yooj yim uas tsis muaj cov tshuab txav chaw, uas ua rau muaj kev noj fais fab. Qhov no yog qhov tseem ceeb tshaj plaws rau qee cov khoom siv tau nqa los ntawm cov roj teeb lossis cov kev xav tau nruj ntawm kev siv hluav taws xob, raws li nws tuaj yeem txuas lub sijhawm ua haujlwm ntawm cov khoom siv.
Loj me me thiab lub teeb hnyav:Los ntawm kev siv micro - nano cov tswv yim tsim tawm, lub ntsuas hluav taws xob tuaj yeem ua kev sib txuas thiab lub nra. Nws yog ib qho yooj yim kom ua ke rau ntau cov miniaturized thiab lub tshuab nyuab thiab cov tshuab, xws li uas cov khoom siv kho mob uas hnav tau thiab cov tsheb kho mob me me. Nws yuav tsis muaj kev cuam tshuam tseem ceeb ntawm kev ua tau zoo tag nrho thiab kev pom tseeb ntawm cov khoom siv. Lub caij no, nws kuj tau yooj yim rau loj- nplai ntau lawm thiab txo tus nqi.
Cov yam ntxwv zoo sib xws:Nws muaj qhov muaj peev xwm kub me me thiab tuaj yeem teb sai rau kev hloov pauv ntawm lub siab. Nws ua kom pom kev ua tau zoo zoo rau kev ntsuas cov khoom siv hluav taws xob ntau xws li pulsating siab thiab hloov nrawm nrawm. Nws tuaj yeem ntes cov kev hloov pauv hauv siab nyob rau hauv lub sijhawm thiab yog siv dav hauv kev ua haujlwm ntawm cov khoom lag luam hauv tsheb ntawm cov tshuab hydraulic.
Kev ntsuas dav ntau:Los ntawm kev kho cov txheej txheem tsim qauv thiab lwm txoj hauv kev, nws ntsuas ntsuas tuaj yeem hloov kho tau raws li cov kev thov tshwj xeeb. Nws tuaj yeem ua tau raws li qhov ntsuas xav tau los ntawm cov me me pressures rau cov kev ntsuas loj loj, nrog ntau cov ntawv thov. Nws yog siv txawm ntsuas cov cua qis qis lossis siab - siab hydraulic tshuab.