Raws li kev cuam tshuam thev naus laus zis nyob hauv thaj teb ntawm kev ntsuas siab, covSilicon Realonant Siab SensorPuas tau rov kho qhov ntsuas kev lag luam thiab kev tswj hwm nrog kev xav tsis thoob thiab muaj kev ruaj khov. Qhov ntsuas hluav taws xob no, raws li micro - cov txheej txheem kev kho tshuab xws li aerospace, lub zog thiab tshuaj lom neeg.
I. Lub cev nqaij daim tawv thiab cov tub ntxhais tseem ceeb
Cov txheej txheem tub ntxhais ntawm cov ntxaij realonanant siab sensor yog raws li kev sib raug zoo sib xws ntawm tus resonant zaus thiab kev ntxhov siab. Lub sensor nta ib resonant Beam qauv ua los ntawm ib qho- Crystal silicor cov khoom, uas tsis tu ncua tshee ntawm ib qho zaus hauv lub tshuab nqus tsev. Thaum sab nraud siab ua rau lub sensor diaphragm, kev ntxhov siab txhua yam ua rau muaj kev hloov pauv ntawm lub nqaj ntawm lub teeb resonant, ua rau muaj kev txav ntawm nws lub ntuj zaus. Qhov kev hloov pauv no muaj kev nruj sib xws nrog kev siv siab. Los ntawm precisely kuaj cov zaus me me offset los ntawm kev siv hluav taws xob, lub siab tus nqi tuaj yeem raug txiav tawm.
Cov qauv ib txwm muaj muaj peb cov qauv tseem ceeb:
Siab - rhiab diaphragm: Ib qho silicon nyias - zaj duab xis nrog lub cheeb ntawm {}} mm uas hloov siab rau hauv kev ntxhov siab.
Resonant oscillator: Ib qho h {{0} Daim duab silicon ci nrog ib thickness ntawm tsuas {} μm, khiav haujlwm ntawm ntau zaus ntawm10 - 100 cmz.
Kaw - lub voj kev zoo siab: Muab kev sib xyaw ua ke piezoresive kev zam nyiaj thiab kuaj pom muaj ib zaus los tswj hwm lub xeev ruaj khov.
Ii. Groundbreaking thev naus laus zis
Piv nrog tsoos piezoresive sensors, silicon resonist technology tau ua tiav qhov ntau leap ua tau:
Nws cov cim tshwj xeeb qia los ntawm peb qhov kev hloov tshiab loj:
1.Qhov khoom tawm tsam cov xeeb ceem: isti - sib cuam tshuam ntawm cov teeb meem digital zaus yog ob qhov kev txiav txim siab siab tshaj qhov ntawm cov voltog voltage tawm.
2.Txhua kev tsim qauv: Ib qho qauv sib txawv nrog ob chav resonant kab teeb yog saws, thiab mob hnyav drift mob tau nce mus txog 98%.
3.Qhov {{{{{{}} kev kawm qib ntawm qhov tob reasenion ion ion ion ion ov ion ov ± 0.1 μm.
III. Kev Taw Qhia Kev Tshawb Fawb
Frontier kev tshawb fawb tsom rau plaub qhov kev sib tsoo loj:
1.Wide - kub- txoj kev siv hluav taws xob, los ntawm kev siv lub sic {}}- 200℃rau 600 degree.
2.6ulti {- qhov chaw muaj nqis: ib daim phiaj xwm 3D tau tsim los ua kom muaj kev ntsuas kom zoo li kev ntsuas siab, ntsuas kub.
3.Potonic Revononance: Ib qho kev sib txuas lus txuas ntxiv ua haujlwm tau ua tiav kom ua tiav qhov muaj peev xwm ruaj khov ntawm 10 ^- 6 hz.
4. Nees tus kheej -} powered system: ib tug piezoelectric lub zog sau module yog ua ke tsim kev ua hauj lwm hauv internet ntawm.
IV. Txiav -} ntug applation scenarios
Nyob rau hauv kev soj ntsuam ntawm Aero - engines, silicon resononant sensors tuaj yeem nrhiav cov siab siab ntawm siab {}} roj kub ntawm 2000 degree. Lawv tseem tswj tau qhov tseeb ntawm 0.05% ntawm kev ntsuas zaus ntawm 1 MHz. Hauv kev sib sib zog nqus {{{}} roj thiab roj av, cov sensors encapsulated nrog titanium alloy tuaj yeem ua haujlwm tsis tu ncua ntawm tsis pub tshaj 0.03%. Hauv kev kho mob hauv tsev kho mob, cov ntshav cog cov ntshav siab tau tawm. Lub 3 hli × 3mm sensor nti yog ncaj qha ua ke ntawm ib lub plawv dhia Wave- zaus txuas nrog kev siv hluav taws xob tsawg dua 10μW. Hauv cov ntsiab lus ntawm kev lag luam 4.0, sensor network tuaj yeem ntes micro - ntev thiab muab cov lus ceeb toom thaum ntxov thiab muab cov lus ceeb toom thaum ntxov thiab muab cov lus ceeb toom thaum ntxov thiab muab cov lus ceeb toom thaum ntxov}
Hauv kev soj ntsuam ib puag ncig, faib cov tshuab ntsuas hluav taws xob ua kom haum nrog 0.5}} feeb hloov cov ntaub ntawv rau Typhoon txoj kev twv ua ntej. Kev lag luam hauv tsheb yog nyob rau ntawm kev hloov pauv. Qhov tom ntej {{5 5}}}} tus log tsheb ntse yuav pom zoo rau cov log tsheb siab rau hauv qhov tseeb ceeb toom los ntawm 30 feeb.
Tag
Qhov kev pom zoo no istaining thev naus laus zis los ntawm kev lag luam semiconduct yog rov ua dua cov ciaj ciam digital ntawm lub ntiaj teb. Thaum cov neeg kho tshuab vibrations thiab hluav taws xob resonate txig txig rau ntawm micro {{1} Ntu ntawm cov ntsiab lus ntawm lub siab tau nkag mus rau ib qho kev ntsuas ntawm Quantum Precision.